半導体用語集
強誘電体薄膜
英語表記：ferroelectric thin film
キャパシタ用に使用されるPZT*1、BST*2、SBT*3などの薄膜。MOCVD法、溶液気化CVD法、スパッタリング法、ゾルゲル法、塗布法などで形成される。
＊1：PbxZr1ーxTiO3
＊2：BaxSr1ーxTiO3
＊3：SrBi2Ta2O9
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