半導体用語集

赤外線集中加熱法

英語表記:infrared heating method

楕円面鏡の一つの焦点にハロゲンランプを置き、他の焦点に置かれた素材位置に集光して溶融体を作成する方法。炭酸ガスレーザなどを使用する場合もある。


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