半導体用語集
精密ろ過膜 メンブレンフィルタ MF
英語表記：micro filter membrane filter
0.1～10μmの孔を持つ有機ろ過膜。孔称孔径0.1～0.45μmのものが主として用いられる。形状により、円形シート状の平膜型フィルタ、プリーツ状のカートリッジフィルタおよびホローファイバー状の中空糸型に大別できる。
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