半導体用語集
フローティングゾーン法 FZ法 浮遊帯域溶融法
英語表記：floating zone melting method
単結晶にしようとする材料の多結晶棒を用意して、これを垂直に置いて、上下をクランプし、途中を高周波や電子ビームなどで部分的に加熱溶融し、その溶融ゾーンを下から上または上から下に移動させることによって単結晶を成長する方法。このゾーンを棒全体にわたって移動させるとゾーン精製効果により鈍化が行われる。シリコン単結晶製造ではるつぼを用いないことから、主として酸素不純物などの少ない高純度結晶の製作に適している。
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