半導体用語集
ポリイミド塗布
英語表記：polyimide coating
保護膜、層間絶縁膜を形成するためにポリイミド膜を塗布すること。ポリイミドは粘度が高く（1000～20000cp）、溶剤には揮発性の低いNMP（N-メチルピロリドン）を使用している。塗布の後、溶剤揮発のためのベークと焼成のためのベーク（400℃）を行う。
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