半導体用語集
マスク
英語表記：mask
イオンビームをスキャンして注入する場合、注入領域を決めるため、ファラデー系の前に置かれるアパーチャ大きさは、スキャンした領域がウェーハ周囲数mmを含めて覆えるように選ばれる。
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