半導体用語集
吸着プレート
英語表記：vacuum plate
ウェーハやプレート等を吸着し、保持するプレートの中で、枚葉でウェーハを研磨する時に、ウェーハを固定させるためのワーク保持版。保持方法として真空吸着方式やテンプレートアッセンブリを用いた水貼り等のワックレス方式がある。プレートの材質はセラミックスが多く使われている。
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