半導体用語集
ペリクル
英語表記：Pellicle
マスクに欠陥があると、全ショットに不良が発生するので、絶対に欠陥があってはならない。マスク上にダストなどが付着した場合、は、欠陥となってしまうので、それを防ぐため薄い透明なペリクル膜が用いられる。マスクのクロム面から離れた位置に異物があっても、ウエハ上では焦点を結ばないので、欠陥とはならない。微細化が進むと、ペリクル上のダストも問題にする場合が出てきたようで、生産工程で事前検査が行われる。
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