半導体用語集
ガスクロマトグラフィ質量分析計 GCｰMS
英語表記：gas chromatography mass spectrometer
ガスクロマトグラフィによって分離されたガスをイオン化させ、質量分析によって分析する機器。モノシランなどの特殊材料ガスの微量不純物分析に適用され、ppbレベルの分析が可能である。
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