半導体用語集
スカベンジャ
英語表記：scavenger
熱酸化装置、熱拡散装置、CVD装置などにおいて、炉体の端に位置し、プロセスガスや熱のクリーンベンチ側への拡散を防ぐことを目的とする反応管への接続部分。
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