半導体用語集
漏液センサ
英語表記：liquid spill sensor
洗浄装置やエッチング装置のタンク・配管系からの薬液や洗浄水などの漏洩の有無をチェックするためのセンサ。一般に、漏液による電気容量などの変化を検出するセンサが使用されている。
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