半導体用語集
触針式表面粗さ測定
英語表記：stylus surface roughness measurement
被測定物の表面を、微細形状の針で直接接触し、表面の粗さを測定する方法。CMPでは、エロージョン、デッシング、スクラッチ等表面形状を計測対象としている。触針の先端形状半径は、被測定物によって各種あるが、CMPした表面に使用できる触針半径は、1μm以下である。また、センサーは差動トランスが使用されている。
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