半導体用語集

二次電子像観測機能

英語表記:secondary electron image

一次電子ビームを照射し被測定試料からとびだしてくる二次電子による像を観測する機能。像の観測方法には、時間的に連続(リアルタイム)または間欠的(ストロボ)に行う2通りがある。


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