半導体用語集
短チャネル効果
英語表記：Short Channel Effect
微細化によるMOSトランジスタのチャネル長が短くなると、ゲート電圧でチャネルを閉じても、チャネル下部を流れるリーク電流が増えてくる。これは、ドレインの電界がソースに届くようになり、ソース端の障壁を低くすること（DIBL: drain induced barrier lowering）による。この効果は微細化が進む度に顕在化し、その抑制のために様々な工夫がなされてきた。まさに、MOSトランジスタの発展は短チャネル効果抑制の歴史であると言える。それらの工夫は①電流通路の最表面層への集中、②チャネル下部の不純物高濃度化である。①・ソース・ドレインの浅化 ・エクステンション形成
②・パンチスルーストップ ・ポケット（ハロー）・チャンネル不純物高濃度化
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