半導体用語集

HALO/ポケット

英語表記:HALO/ pocket

CMOSのトランジスタのソースドレインエクステンション部分を取り囲むように作られたウェル又は基板より濃度の高い領域。短チャネル効果を抑制する目的で、ゲート形成後に大ティルト角注入などの方法で形成される。


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