半導体用語集
清浄度 清浄度レベル
英語表記：cleanliness cleanliness level
対象として考えている空間の清浄さの度合い。空気一定体積中に含まれる粒子汚染物の大きさ別の数によって表す。また、格付けされる清浄度の程度を清浄度レベルと表わす。
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