半導体用語集
電子光学鏡筒洗浄
英語表記：column cleaning, electric optical column cleaning
電子光学鏡筒内の電子によって、鏡筒内部品表面などに吸着したガス分子、特に有機物が励起分解されて、部品表面に堆積成長したカーポンコンタミネーションを除去することを電子光学鏡筒洗浄という。カーボンコンタミネーションは絶縁性であるため、鏡筒内で発生する二次電子や散乱電子によって帯電する。
この帯電はビーム軌道を変えてしまう原因となり、その結果、試料面でのビーム位置誤差やビームサイズ変動が引き起こされる。鏡筒内を高真空に保つことによってカーボンコンタミネーションの発生を遅らせることはできるが、高精度な電子ビーム露光を行うためには定期的に鏡筒内を洗浄することが効果的である。 しかしながら、鏡筒を取り外して行う洗浄は非生産的であるため、鏡筒自体に洗浄機能を持たせるinーsitu洗浄技術が開発されている。この方法では、鏡筒内にガスを導入し、偏向電極間を放電させる方法や、外部からラジカルガスを導入して堆積物を除去する方法がある。inーsitu洗浄は、高精度な電子ビーム露光を実現する優れた方法であるが、この方式を採用するためには、導入するガスに影響されない偏向電極材料の選定が重要となる。
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