半導体用語集
皿状ピット
英語表記：shallow pit saucer
洗濯エッチしたときに、転位ピットとは異なる底の浅い皿状のエッチピットとして見られる欠陥。この欠陥はX-ray topographyによってはコントラストをつくらないことから、その歪はきわめて微少な領域にしか広がっていないと考えられる。
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