半導体用語集

アライメント精度

英語表記：alignment accuracy

被アライメント試料の、あらかじめティーチングされた所定の基準位置に対してその基準位置に合わすべく、自動アライメントしたときのX、Y、θ方向の最大偏差。


関連製品

「アライメント精度」に関連する製品が存在しません。

キーワード検索

フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます

関連用語

関連特集

会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。

会員登録をする