半導体用語集
インライン深さ検出モニタ
英語表記：inline depth detecting monitor
エッチング後の深さ測定を一環処理として行うこと。レーザ干渉法を用いるものが実用化されている。反応室内でのエッチング中の深さ測定も行われており、終点検出などに利用している。
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