半導体用語集
固定砥粒
英語表記：fixed abrasive
研磨用の砥粒を樹脂等のバインダーで固めたもので砥石に近い。エロージョン、ディッシング等の段差特性改善に加え、従来のスラリー、パッドが不要になりランニングコストの低滅も期待できる。従来のスラリーをこれに対応する呼び方として遊離砥粒という場合がある。
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