半導体用語集
スピン洗浄
英語表記：spin cleaning
水平に置かれた基板を高速で回転させながら、湿式による化学洗浄または物理洗浄により、吸着している粒子、金属不純物、有機汚染物質などを除去する方法のこと。基板面内を均一に洗浄できることや、ブラシスクラブなどの物理洗浄との併用が容易であることを特徴とする。主に、ブラシスクラブ洗浄やメガソニック洗浄などの。物理洗浄力を必要とするCMP後や成膜後の洗浄工程として適用されることが多い。
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