半導体用語集
スピン洗浄装置
英語表記：spin cleaner
ウェーハを回転しながら純水をかけて洗浄する装置。フルオートのダイシングソーではこの洗浄装置を組込んでいるのが一般的である。またグラインディング工程でもこの方式にて洗浄する場合がある。
関連製品
「スピン洗浄装置」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「スピン洗浄装置」に関連する用語が存在しません。
「スピン洗浄装置」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
