半導体用語集
自動温度制御システム
英語表記：automatic temperature control system
成長中の単結晶を質の良いものにするための自動温度コントロールシステム。実際の装置ではヒータ温度、加熱電力などを制御する関節温度制御方式または直接融液表面の温度を赤外線放射温度計等で計測してディジタル温度制御で行われている。
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