半導体用語集

ガラス基板

英語表記:glass substrate

 ガラス基板は,シリコン基板と同様に微細配線形成,薄膜多層配線が可能であり,またLSIチップの線膨張係数と比較的近いため,高信頼性が確保できる。用途は,ベアチップの形で搭載するマルチチップ形態のベース基板,液晶ディスプレイ用基板,ハードディスク用基板,薄膜デバイスなどである。



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