半導体用語集
ガラス基板
英語表記:glass substrate
ガラス基板は,シリコン基板と同様に微細配線形成,薄膜多層配線が可能であり,またLSIチップの線膨張係数と比較的近いため,高信頼性が確保できる。用途は,ベアチップの形で搭載するマルチチップ形態のベース基板,液晶ディスプレイ用基板,ハードディスク用基板,薄膜デバイスなどである。
関連製品
剥離帯電防止コーティング NF-685B/685/718ECB
日本フッソ工業株式会社
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ディスプレイ製造装置・試験/検査装置・関連部品 › ガラス基板剥離装置 › レーザリフトオフ(LLO)装置
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