半導体用語集
ガラス基板
英語表記：glass substrate
ガラス基板は，シリコン基板と同様に微細配線形成，薄膜多層配線が可能であり，またLSIチップの線膨張係数と比較的近いため，高信頼性が確保できる。用途は，ベアチップの形で搭載するマルチチップ形態のベース基板，液晶ディスプレイ用基板，ハードディスク用基板，薄膜デバイスなどである。
関連製品
剥離帯電防止コーティング NF-685B／685／718ECB
日本フッソ工業株式会社
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