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半導体用語集

ABCパラメータ

英語表記：ABC parameter

　IBMのDillらにより提案されたノボラックレジストの感光機構モデルが広く受け入れられている。ノボラックレジストの感光特性を感光剤の吸収に注目して三つのパラメータA、B、Cで記述するモデルである。
　レジストの光吸収は感光剤濃度に強く依存するので吸収係数αは、ある時刻t、深さzでの規格化した感光剤濃度をM(z, t) とすると、下記式(1)で与えられる。A (μm⁻¹) は感光剤の光吸収、B(μm⁻¹) はレジスト樹脂膜の光吸収に対応するパラメータである。レジスト深さ方向の光強度分布は、下記式(2)で与えられる。感光剤の分解速度はレジスト中での光強度I(z, t)と感光剤濃度M(z, t)に比例すると考えると、下記式(3)で与えられる。ここでC(cm²/mJ)はレジストの感度である。式(2)と式(3)からI(z, t)とM(z, t)を数値計算で求めることができる。膜厚dのレジスト膜の透過率T(t)は、下記式(4)となることを用いると、各パラメータは以下の式(5)、(6)、(7)で与えられる。ここで、I₀はレジスト表面での光強度である。
　Dillらはレジストの屈折率に合わせた光学ガラス基板を用いて厳密な実験を行い、ノボラックレジストのABCパラメータを測定し、AZ1350Jではg線に対し、A=0.54、B=0.06、C=0.014をえた。
　A、B、Cの各値はレジスト性能を与える指標の一つであり、レジスト材料や感光剤材料、ベーク温度などのプロセスによって変わるためレジスト開発の指針としても使われている。

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