半導体用語集

TOX 全有機ハロゲン化合物

英語表記:total organic halogen

有機ハロゲン化合物の総称。トリハロメタンの他に、トリクロロエチレン(C2HCL3)、テトラエチレン(C2Cl4)、四塩化炭素(CCl4)、ジクロロメタン(CH2Cl2)、トリクロロエタン(C2H3Cl3)、ジクロロエチレン(C2H2Cl2)などが含まれる。


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