半導体用語集
TOX 全有機ハロゲン化合物
英語表記：total organic halogen
有機ハロゲン化合物の総称。トリハロメタンの他に、トリクロロエチレン（C2HCL3）、テトラエチレン（C2Cl4）、四塩化炭素（CCl4）、ジクロロメタン（CH2Cl2）、トリクロロエタン（C2H3Cl3）、ジクロロエチレン（C2H2Cl2）などが含まれる。
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