半導体用語集
ウェーブガイド 分析官
英語表記：wave guide analyzing chamber
質量分析計においてイオンビームが通過するための真空チャンバ。不必要なビームの衝突によりその内壁が削られるのを防ぐために保護板（ライナー）が設置されていることが多い。
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