半導体用語集
吸着
英語表記：adsorption
気体または液体中にある分子やイオンが、その相と接触する他の相（液体または固体）との界面において、相の内部と異なる濃度で保たれた状態をさす。界面の濃度が相の内部よりも大きい場合を正吸着、小さい場合を負吸着という。ぬれは液体の固体表面への吸着である。固体表面の吸着現象は、その相互作用によって、共有結合、静電引力、イオン交換作用などによる化学吸着と、ファン・デル・ワールス力、疎水性相互作用などによる物理吸着とに分けることができる。半導体プロセスにおけるCVD（化学吸着）法などの不均一系化学反応では、その平衡あるいは反応速度が吸着と密接な関係を持ち、不均一触媒の作用は必ず吸着の過程を含んでいる。また、半導体洗浄プロセスにおいても、表面の不純物である金属やパーティクルなどの除去能力は、吸着現象に大きく関連している。
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1つの製品で直動(Z)、回転(θ)、吸着(V)が可能な複合製品
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