半導体/MEMS/ディスプレイのWEBEXHIBITION（WEB展示会）による製品・サービスのマッチングサービス SEMI-NET（セミネット）

VZθアクチュエータ

ケーエスエス株式会社

ミニチュアボールねじスプライン(BSSP)を応用し、直動(Z)、回転(θ)、吸着(V)の3つの機能を1つの製品で実現したユニット製品

ミニチュアボールねじスプライン BSSP

ケーエスエス株式会社

1つの製品で直動(Z)、回転(θ)、吸着(V)が可能な複合製品

STCR4160SN

株式会社ジェーイーエル

薄物ウェーハ及びウェーハ周辺接触吸着対応4軸円筒座標型クリーンロボット