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STCR4160SN

株式会社ジェーイーエル
最終更新日: 2020年04月22日
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薄物ウェーハ及びウェーハ周辺接触吸着対応4軸円筒座標型クリーンロボット

スーパークリーンルーム用4軸円筒座標型クリーンロボット。低価格、高速搬送、脱調レスを実現した薄物ウェーハ及びウェーハ周辺接触吸着対応新型ツインアームロボット。
到達距離475mm (第3関節中心距離)。昇降距離200mm/300mm/400mm/450mm/500mm。可搬質量3kg (第3関節換算)。
ステッピングモータ駆動でありながら脱調レスの制御方式を採用

基本情報

ロボット型式 STCR4160SN-300-PM
リストブロック SART09362
チャック 上チャック：3D-09371
下チャック：3D-09370
被搬送物 ～300 mmウェーハ
ウェーハ保持方式上チャック: 真空吸着による保持(ウェーハ外周)
下チャック: サイクロンパッドによる吸引とフリクションゴムによる保持(接触部材質は各種製作可能)
機械構造形式 円筒座標型
制御軸 4軸
モータタイプ ステッピングモータ
動作範囲 ワーク中心到達距離：625 mm
旋回角度(θ軸)：340度
上下ストローク(Z軸)：300 mm
搬送速度(平均) アーム(R軸)：400 mm/sec
旋回角度(θ軸)：180度/sec
上下ストローク(Z軸)：200 mm/sec
搬送速度(最高) アーム(R軸)：800 mm/sec
旋回角度(θ軸)：220度/sec
上下ストローク(Z軸)：250 mm/sec
繰り返し精度 ±0.1 mm以内
クリーン度 ISOクラス2(駆動部排気時)
ユーティリティ 電源：DC24V±10% 16A
クリーンエア:60SLM以上 0.1?0.3 MPa
真空：-53 kPa以上
質量 ロボット本体 約30 kg

価格帯 50万円以上 100万円未満
納期 1週間以内
お問い合わせ

取扱企業

株式会社ジェーイーエル

業種：繊維  所在地：広島県 福山市草戸町 2-8-20

　ジェーイーエルは1993年の設立以来、半導体ウェーハ搬送用ロボット・液晶ガラス基板搬送用ロボットのメーカーとして実績を残してきた。累計出荷台数は2019年度には2万2,000台を上回っている。
　拡大する需要に対応するため、現在、広島県福山市に新工場を建設している。
　本社を核として、国内に東京営業所、JEL高知の生産・販売拠点があり、海外は台湾支店及び韓国支店をはじめ、韓国、中国、台湾、シンガポールの海外代理店及び海外協力店を通じて、ネットワークを展開している。

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