半導体用語集
同軸円筒型 プラズマCVD装置
英語表記：coaxial cylindrical plasma enhanced CVD system
円筒型の外部電極の内部に多面体のウェーハ保持電極が円筒状に配置された容量結合型プラズマCVD装置。両電極間に高周波電圧を印加し、低圧反応ガスのプラズマを発生させウェーハ上に薄膜を形成する。
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