半導体用語集
磁場中引上法 磁場印加引上法 MCZ法
英語表記：magnetic field applied Czochralski crystal growth method
磁場を印加して融液の見かけの動粘性率を高くした状態でチョクラルスキー法で結晶成長する方法。磁場の作用により融液の対流が制御されるため安定な結晶成長を行うことができる。またシリコン結晶成長では、ルツボ材の石英ガラス（SiO2）と融液の反応及び流れが制御されてシリコン結晶中の酸素濃度の制御に有効な方法になる。主として横磁界とカスプ磁界が使用される。
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