半導体用語集
ラジカル
英語表記：radical
1個の不対電子を有する原子または 2原子、多原子分子を指す。 水素原子は最も簡単なラジカルといえる。 磁気的には基底状態でスピン角運動量量子数か1 /2以上のものである。一般にラジカルは分子の熱分解、光分解、放射線分解、電子授受などによって化学結合が切断されて生しる。 化学的に不安定、すなわち活性であるため、ラジカル同士あるいは安定分子とラジカル反応を起こすことが多い。プラズマや光を利用する薄膜材料の成膜あるいはエッチングプロセスチェンパ内の原子・分子過程に重要な役割を果たしている。代表的な例は、 SiH3 、CH3 、CF3、CFなどである。このようなラジカルを利用した低温プロセスによって、従来の熱プロセスでは実現不可能であった新機能デバイス、新機能材料などの実現が可能となった。
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