半導体用語集
大型液晶ディスプレイ用露光装置
英語表記：aligner for large liquid crystal display substractes
300～1000mm角の大型ガラス基板に液晶ディスプレーを制御するための回路パターンを転写する露光装置。光源には超高圧水銀灯を使用し、露光方式は、ステップ方式、ミラープロジェクション・スキャン方式、プロキシミティ方式等がある。
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