半導体用語集
ベイシステム
英語表記：bay system
作業搬送とユーティリティサービス、メンテナンスエリアの分離を目的として、作業エリアとサービスエリアを交互に繰返す入江（ベイ）形レイアウトシステム。主にウェーハ処理工程に用いられる。
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