半導体用語集
酸化
英語表記：oxidation
ウェーハに酸化膜を形成させること。温度、雰囲気、圧力、及び装置の形式により常圧熱酸化装置、高圧熱酸化装置、プラズマ陽極酸化装置に分けられる。酸化圧膜の調節や膜中の金属汚染を防止する目的で、分圧酸化、塩酸添加酸化、TGA（トリクロエタン）添加酸化、DCE（ジクロルエチレン）添加酸化等の方法が取られる事もある。
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