半導体用語集
バーンインコントローラ
英語表記：burn-in controller
槽内温度、被測定デバイスへの印加電圧、テストパターン等のバーンイン条件の作成と記憶実行を行い、槽内温度、時間、チャンバ、ドライバ、システムの異常をモニタするバーンインシステムの制御機器。
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