半導体用語集
グリシン
英語表記：glycine
アミノ酢酸（aminoacetic acid）ともいう。分子式H2NCH2COOH、分子量75.07、水溶性である。Cu、Pt、Co、Cr、Feとキレート錯体を形成する性質がある。Cuの場合、Cu水和物と反応して2座配位した平面型4配位の水溶性のグリシナト錯体（glycinato complex）を形成する。このCuをエッチングする性質を利用してCuCMP用研磨液の添加剤として使用される場合がある。
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