半導体用語集
蛍光X線膜厚計
英語表記：X-ray fluorescence coating thickness gauge
リードフレームのメッキ厚さを測定する装置。試料にX線を照射し素地から輻射される蛍光X線が、メッキ層で吸収される度合を計測することによりメッキ厚さを測定する。
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