半導体用語集
高温薬液循環ろ過装置
英語表記：hot acid circulation and filtration system
高温（160℃程度まで）の薬液にも耐えられるよう設計された循環ろ過装置。ポンプ、バルブ、フィルタなどの構成部品にはPTFE、PFA部材が使用され、熱応力に対して十分配慮した構造となっている。
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