半導体用語集

マウント板

英語表記:mount plate top plate block carrier plate

ウェーハを貼り付けるための円板。化学的に浸されない材質で経年変化、荷重に対し変形の少ないものが使用されている。(例、アルミナセラミックスやパイレックスガラス等)トッププレート、ブロック、キャリアプレートとも呼ばれる。


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