半導体用語集
マウント板
英語表記：mount plate top plate block carrier plate
ウェーハを貼り付けるための円板。化学的に浸されない材質で経年変化、荷重に対し変形の少ないものが使用されている。（例、アルミナセラミックスやパイレックスガラス等）トッププレート、ブロック、キャリアプレートとも呼ばれる。
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