半導体用語集
側壁保護膜
英語表記：Sidewall Protection Film
側壁保護膜とは、RIE処理の過程において、被エッチング面に再付着する薄膜のことである。RIEのエッチング中において、側壁面のエッチングマスクの役割をする。側壁膜は、レジストやポリマーの再付着したものと、反応生成物の役割をする。側壁膜は、レジストやポリマーの再付着したものと、反応生成物の残渣等である。この側壁保護膜をうまく利用してエッチング形状を制御することが出来る。側壁保護膜はエッチング面全体に付着するが、底部はイオン衝突により除去されるため、露出した底部だけエッチングが進むことになる。異方性エッチングをより強くするには、側壁保護膜の役割は大きい。
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