半導体用語集
仕上研磨 ファイナル スーパーファイナル
英語表記：final polishing final super final
一次研磨後のウェーハを、より精度が高くヘイズ（くもり、もや）を除去し、完全な鏡面ウェーハに仕上げる工程。
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