半導体用語集
超純水製造装置 超純水装置
英語表記：ultrapure water system
上水道水・工業用水・井戸水などを原水とし、その中の不純物を高純度イオン交換樹脂、高機能膜などを用いて精製分離し、高純度の純水を製造する全ての設備。装置は前処理装置、一次純水装置、サブシステムより構成される。
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