半導体用語集
低圧遠隔 スパッタリング
英語表記：long throw sputtering
ボトムカバレッジ向上の一方法で、スパッタ粒子の垂直成分だけを基板に到達させるため、ターゲットと基板間距離を離し、低圧で安定放電させるスパッタリング法。
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