半導体用語集
平坦度 フラットネス
英語表記：flatness
吸着固定などによりウェーハ裏面を平面に矯正した状態にて、さだめられた基準面または焦点面よりの偏差量。フラットネスにはC6216で定義されるグローバルフラットネスとC6217で定義されるサイトフラットネスがある。フラットネス（平坦度）は露光工程におけるウェーハの重要なパラメータである。
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