半導体用語集
マルチワイヤソー
英語表記：multi wire saw
複数のグループローラに多数巻きした細い鋼線を、巻き取りなどの方法により連続的に移動し、遊離と粒をかけながら、棒状の材料を切断し、同時に多数枚のウェーハを製造する機械。
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