半導体用語集
連続アニール
英語表記：multi cycle annealing
アニールチャンバ内にて対象のウェーハに複数条件のアニールを連続して施すこと。温度又は雰囲気のガス種を切り換えることにより実行され拡散層又は薄膜の構成を制御することができる。
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