半導体用語集
界面反応
英語表記：interfacial reaction
固相-固相あるいは、相互に混じり合わない液相-液相界面で起きる化学反応をいう。固相-液相、固相-気相、 液相-気相界面で起きる反応は表面反応という。半導体部品の電極や配線部分で起こる半導体/金属、半導体/絶縁体、金属/絶縁体などの界面反応は、デバイスの性能や信頼性に大きく影響するものであり、走査型電子顕微鏡 (SEM)、透過型電子顕微鏡 (TEM)、電子ピーム微小分析法(EPMA)、 X線光電子分光法（XPS）、二次イオン質量分析法（SIMS）などの物理分析手法によって評価が行われている。 薄膜界面の反応に対しては、熱力学的考察だけではなく、反応論的な考察が必要とされている。
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